La présente Norme internationale spécifie les lignes directrices générales pour déterminer les paramètres expérimentaux liés au faisceau primaire, au spectromètre à dispersion de longueur d'onde et à l'échantillon, paramètres qu'il faut prendre en compte lors de l'analyse par microsonde de Castaing. Elle définit également les modes opératoires pour déterminer le courant de faisceau, la densité de courant, le temps mort, la résolution en longueur d'onde, le fond continu, l'aire, la profondeur et le volume d'analyse. La présente Norme internationale concerne l'analyse d'un échantillon correctement poli sous incidence de faisceau normale; dans d'autres conditions expérimentales, les paramètres obtenus ne peuvent être qu'indicatifs. La présente Norme internationale ne concerne pas la spectrométrie de rayons X à sélection d'énergie.

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