Consultation NF ISO 18516

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Publication

Analyse chimique des surfaces - Spectroscopie d'électrons Auger et spectroscopie de photoélectrons de rayons X - Détermination de la résolution latérale

NF ISO 18516

Suivie par la Commission :	Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux	Origine des travaux :	Internationale
		Motif :	Nouvelle norme

Résumé:
La présente Norme internationale décrit trois procédés pour mesurer la résolution latérale obtenue dans les spectromètres d'électrons Auger et les spectromètres de photoélectrons par rayons X avec des réglages définis. Le procédé du bord rectiligne convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être supérieure à 1 micromètre. Le procédé de la grille convient si la résolution latérale est supposée être inférieure à 1 micromètre, mais supérieure à 20 nm. Le procédé de l'îlot d'or convient pour les instruments où la résolution latérale est supposée être inférieure à 50 nm. Lea Annexes A, B et C fournissent des exemples illustratifs de la mesure de la résolution latérale. Voir plus Voir moins

Informations complémentaires :
Les normes sont élaborées par des commissions de normalisation, gérées par AFNOR et les Bureaux de normalisation des professions, qui rassemblent des représentants de toutes les parties intéressées (producteurs, utilisateurs, pouvoirs publics, associations, centres techniques, …). En vue d'améliorer la qualité de ces documents,un dispositif de retour d'expérience a été mis en place auprès des utilisateurs. L’information recueillie permettra en particulier d'apprécier la nécessité de modifier le document publié. Afin d'adapter au mieux son contenu à vos attentes, AFNOR vous invite à répondre à ce questionnaire.