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Examen systématique – INT

Date de clôture : 19/10/2021

Analyse chimique des surfaces - Spectromètres d'électrons Auger à résolution moyenne - Étalonnage des échelles d'énergie pour l'analyse élémentaire

NF ISO 17973

Suivie par la Commission : Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux Origine des travaux : Internationale
    Motif : Revision de norme

Résumé:

La présente Norme internationale précise une méthode d'étalonnage des échelles d'énergie cinétique des spectromètres d'électrons Auger avec une incertitude de 3 eV, pour une utilisation analytique générale relative à l'identification des éléments au niveau des surfaces. En outre, elle spécifie une méthode permettant d'établir un calendrier d'étalonnage. Elle s'applique à des instruments utilisés en mode direct ou dérivé, pour lesquels la résolution est inférieure ou égale à 0,5 % et l'amplitude de modulation en mode dérivé, s'il est utilisé, est de 2 eV de pic à pic. Elle s'applique aux spectromètres équipés d'un canon à ions à gaz inerte ou d'une autre méthode de nettoyage des échantillons et d'un canon à électrons pouvant fonctionner à une énergie de faisceau de 4 keV ou plus.

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