Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 14 : évaluation de l'aptitude à l'emploi des équipments par la détermination de la concentration de particules en suspension dans l'air

NF EN ISO 14644-14

Suivie par la Commission :

Technologies des salles propres

Origine des travaux :

Française

Motif :

Nouveau document

Résumé :

1 Domaine d'application La présente partie de l'ISO 14644 définit une méthodologie pour évaluer l'aptitude de l'équipement (par exemple, machines, équipements de mesure, équipements de procédé, composants, outils) à être employé dans les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, pour ce qui concerne la propreté particulaire de l'air telle que spécifiée dans l'ISO 14644-1. La taille des particules varie de 0,1 micron m à 5 micron m ou plus (indiquée dans l'ISO 14644-1). NOTE Lorsque les instances réglementaires imposent des lignes directrices ou des restrictions supplémentaires, il peut s'avérer nécessaire d'adapter la méthodologie d'évaluation en conséquence. Les éléments suivants ne sont pas traités dans l'ISO 14644: - l'évaluation de l'aptitude à l'emploi par rapport à la biocontamination; - les essais d'aptitude à l'emploi des agents et des techniques de décontamination; - la nettoyabilité des équipements et matériaux; - les exigences relatives à la conception de l'équipement et à la sélection des matériaux; - les propriétés physiques des matériaux (par exemple, propriétés électrostatiques, thermiques); - l'optimisation des performances de l'équipement pour des applications de procédé particulières; - la sélection et l'utilisation de méthodes statistiques pour les essais; - les protocoles et exigences relatifs à la réglementation locale sur la sécurité.