La présente partie de la IEC 62047 spécifie des descriptions de structures de tranchées et de structures d'aiguille à l'échelle micrométrique. En outre, elle donne des exemples de mesures de la géométrie des deux structures. Pour les structures de tranchées, la présente norme s'applique à des structures de profondeur comprise entre 1 micron m et 100 micron m, avec des parois et des tranchées de largeur comprise entre 5 micron m et 150 micron m et avec un rapport hauteur/largeur compris entre 0,006 7 et 20. Pour les structures d'aiguille, la norme s'applique à des structures à trois ou quatre faces dont la hauteur, la largeur horizontale et la largeur verticale sont supérieures ou égales à 2 micron m, et dont les dimensions permettent de placer chaque structure dans un cube de 100 micron m de côté.

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