Ellipsométrie — Partie 2: Modèle matériel volumique

Le présent document définit le procédé de détermination des constantes optiques ou diélectriques au moyen de mesurages ellipsométriques, ainsi que leur analyse sur la base du modèle matériel volumique. Si les hypothèses du modèle matériel volumique sont strictement respectées, il est possible de déterminer directement les constantes optiques (indice de réfraction n et coefficient d’extinction k) ou les constantes diélectriques (partie réelle ε1 et partie imaginaire ε2) du matériau. Par ailleurs, des pseudo-constantes optiques (<n> et <k>) ou diélectriques (<ε1> et <ε2>), qui dépendent de l’angle d’incidence de mesurage φ, sont mesurées. Le degré de cohérence des pseudo-constantes dans la gamme spectrale concernée, déterminé à partir de mesurages effectués sous différents angles d’incidence, constitue une condition préalable indispensable à la validité ou à la qualité du modèle matériel volumique.

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