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Revêtements obtenus par dépôt physique en phase vapeur - Dépôt de couches minces de TiAlSiN par pulvérisation cathodique magnétron - Spécification
NF ISO 25164
| Suivie par la Commission : | Corrosion et protection des matériaux métalliques - Revêtements métalliques et inorganiques | Origine des travaux : | Française |
| Motif : | Nouveau document | ||
Résumé : |
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Le présent document spécifie les exigences techniques relatives aux couches minces de TiAlSiN déposées par pulvérisation cathodique par magnétron. Le présent document s’applique également au dépôt de couches minces de TiN, TiAlN ou TiSiN. |
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Informations complémentaires : |
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