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Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6 : méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
NF EN 62047-6
| Suivie par la Commission : | Dispositifs à semiconducteurs | Origine des travaux : | Française |
| Motif : | Nouveau document | ||
Résumé : |
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La présente Norme internationale spécifie la méthode relative à l'essai de fatigue pour une force axiale de traction-traction des matériaux en couche mince de longueur et largeur inférieures à 1 mm et d'une épaisseur comprise entre 0,1 M et 10 M dans le cadre d'une gamme de force constante ou d'une gamme de déplacement constant. Les couches minces sont utilisées comme matériaux de construction principaux pour les systèmes micro-électromécaniques (MEMS, Micro-Electromechanical Systems) et les micromachines. Les matériaux de construction principaux pour les MEMS, les micromachines, etc. comportent des caractéristiques spéciales telles que des dimensions typiques de l'ordre de quelques microns, une fabrication de matériau par dépôt, et une fabrication d'éprouvettes d'essai au moyen d'un usinage non mécanique, qui peut être la photolithographie. La présente Norme internationale spécifie les méthodes d'essais de fatigue pour force axiale pour des éprouvettes lisses microminiaturisées, qui garantissent une précision correspondant aux caractéristiques spéciales. Les essais sont effectués à températures ambiantes, à l'air, en appliquant la charge à l'éprouvette le long de l'axe longitudinal. |
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Informations complémentaires : |
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