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Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10 : essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
NF EN 62047-10
| Suivie par la Commission : | Dispositifs à semiconducteurs | Origine des travaux : | Française |
| Motif : | Nouveau document | ||
Résumé : |
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Cette partie de la IEC 62047 spécifie une méthode d'essai de compression utilisant la technique des micro-piliers destinée à mesurer les propriétés de compression des matériaux des MEMS 1 avec une précision et une répétabilité élevées et un effort modéré pour la fabrication des éprouvettes. La relation contrainte-déformation de compression uniaxiale d'une éprouvette est mesurée ce qui permet ainsi d'obtenir le module de compression et la limite d'élasticité. L'éprouvette d'essai est un pilier cylindrique fabriqué sur un substrat rigide (ou très dur) par micro-usinage et il convient que son rapport d'aspect (rapport du diamètre du pilier sur sa hauteur) soit supérieur à 3. La présente norme est applicable aux matériaux métalliques, céramiques, et en polymères. |
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Informations complémentaires : |
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