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Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 3 : éprouvettes d'essai normalisée en couche mince pour l'essai de traction
NF EN 62047-3
| Suivie par la Commission : | Dispositifs à semiconducteurs | Origine des travaux : | Française |
| Motif : | Nouveau document | ||
Résumé : |
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Le présent document spécifie une éprouvette d''essai normalisée, qui est utilisée pour garantir le bien-fondé et la précision du système d''essais de traction pour les matériaux en couche mince avec une longueur et une largeur inférieures à 1 mm et une épaisseur inférieure à 10 micro m, et qui sont des matériaux de structure principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), les micromachines et dispositifs analogues. |
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Informations complémentaires : |
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