NormInfo

tutoriels

Publication

Analyse chimique des surfaces - Spectrométrie de masse des ions secondaires - Dosage des atomes de bore dans le silicium à l'aide de matériaux dopés uniformément

NF ISO 14237

Suivie par la Commission : Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux Origine des travaux : Internationale
    Motif : Revision de norme

Résumé :

La présente Norme internationale spécifie une méthode de spectrométrie de masse des ions secondaires pour la détermination de la concentration atomique de bore dans le silicium monocristallin au moyen de matériaux dopés uniformément, étalonnés par un matériau de référence certifié à bore implanté. Cette méthode est applicable au bore dopé uniformément dans la gamme de concentrations de 1 x 10 exposant 16 atomes/cm3 à 1 x 10 exposant 20 atomes/cm3.

Voir plus Voir moins

Informations complémentaires :
  • Les normes sont élaborées par des commissions de normalisation, gérées par AFNOR et les Bureaux de normalisation des professions, qui rassemblent des représentants de toutes les parties intéressées (producteurs, utilisateurs, pouvoirs publics, associations, centres techniques, …).

    En vue d'améliorer la qualité de ces documents,un dispositif de retour d'expérience a été mis en place auprès des utilisateurs. L’information recueillie permettra en particulier d'apprécier la nécessité de modifier le document publié.

    Afin d'adapter au mieux son contenu à vos attentes, AFNOR vous invite à répondre à ce questionnaire.