Suivie par la Commission : | Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux | Origine des travaux : | Internationale |
Motif : | Revision de norme | ||
Résumé: | |||
La présente Norme internationale spécifie une méthode de spectrométrie de masse des ions secondaires pour la détermination de la concentration atomique de bore dans le silicium monocristallin au moyen de matériaux dopés uniformément, étalonnés par un matériau de référence certifié à bore implanté. Cette méthode est applicable au bore dopé uniformément dans la gamme de concentrations de 1 x 10 exposant 16 atomes/cm3 à 1 x 10 exposant 20 atomes/cm3. Voir plus Voir moins |
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Informations complémentaires : | |||
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