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Analyse par microfaisceaux - Spécifications instrumentales pour spectromètres de rayons X à sélection d'énergie avec détecteurs à semi-conducteurs
NF ISO 15632
| Suivie par la Commission : | Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux | Origine des travaux : | Française |
| Motif : | Nouveau document | ||
| Résumé: | |||
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Le présent document définit les paramètres les plus importants qui caractérisent un spectromètre de rayons X à sélection d''énergie (EDS) consistant en un détecteur semi-conducteur, un préamplificateur et une unité de traitement des signaux en tant que parties essentielles. Ce présent document s''applique uniquement aux spectromètres ayant des détecteurs semi-conducteurs fonctionnant selon le principe de l''ionisation à l''état solide. Ce présent document définit les exigences minimales pour de tels spectromètres reliés à un microanalyseur à sonde électronique (EPMA) ou à un microscope électronique à balayage (MEB). |
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| Informations complémentaires : | |||
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