Suivie par la Commission : | Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux | Origine des travaux : | Internationale |
Motif : | Nouvelle norme | ||
Résumé: | |||
La présente Norme internationale spécifie un mode opératoire permettant l'étalonnage de l'échelle de profondeur dans une région de faible profondeur, inférieure à 50 nm, lors du profilage en profondeur SIMS à l'aide de matériaux de référence à couches delta multiples. La présente Norme internationale ne s'applique pas à la région transitoire superficielle où la vitesse de pulvérisation n'est pas en régime permanent. La présente Norme internationale s'applique au silicium monocristallin, au silicium polycristallin et au silicium amorphe. Voir plus Voir moins |
|||
Informations complémentaires : | |||
|