Consultation NF ISO 23812

Publication

Suivie par la Commission :	Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux	Origine des travaux :	Française
		Motif :	Nouveau document

Résumé:
Le présent document spécifie une méthode d''étalonnage de la profondeur pour le silicium, à l''aide de matériaux de référence à couches delta multiples. Ce mode opératoire permet l''étalonnage de l''échelle de profondeur dans une région de faible profondeur, inférieure à 50 nm, lors du profilage en profondeur SIMS. Le présent document s''applique au silicium monocristallin, au silicium polycristallin et au silicium amorphe. Il ne s''applique pas au silicium monocristallin, au silicium polycristallin et au silicium amorphe. Voir plus Voir moins

Informations complémentaires :
Les normes sont élaborées par des commissions de normalisation, gérées par AFNOR et les Bureaux de normalisation des professions, qui rassemblent des représentants de toutes les parties intéressées (producteurs, utilisateurs, pouvoirs publics, associations, centres techniques, …). En vue d'améliorer la qualité de ces documents,un dispositif de retour d'expérience a été mis en place auprès des utilisateurs. L’information recueillie permettra en particulier d'apprécier la nécessité de modifier le document publié. Afin d'adapter au mieux son contenu à vos attentes, AFNOR vous invite à répondre à ce questionnaire.