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Analyse chimique des surfaces - Spectrométrie de masse des ions secondaires - Méthode pour l'étalonnage de la profondeur pour le silicium à l'aide de matériaux de référence à couches delta multiples

NF ISO 23812

Suivie par la Commission : Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux Origine des travaux : Internationale
    Motif : Nouvelle norme

Résumé :

La présente Norme internationale spécifie un mode opératoire permettant l'étalonnage de l'échelle de profondeur dans une région de faible profondeur, inférieure à 50 nm, lors du profilage en profondeur SIMS à l'aide de matériaux de référence à couches delta multiples. La présente Norme internationale ne s'applique pas à la région transitoire superficielle où la vitesse de pulvérisation n'est pas en régime permanent. La présente Norme internationale s'applique au silicium monocristallin, au silicium polycristallin et au silicium amorphe.

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Informations complémentaires :
  • Les normes sont élaborées par des commissions de normalisation, gérées par AFNOR et les Bureaux de normalisation des professions, qui rassemblent des représentants de toutes les parties intéressées (producteurs, utilisateurs, pouvoirs publics, associations, centres techniques, …).

    En vue d'améliorer la qualité de ces documents,un dispositif de retour d'expérience a été mis en place auprès des utilisateurs. L’information recueillie permettra en particulier d'apprécier la nécessité de modifier le document publié.

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