| Suivie par la Commission : | Technologies des salles propres | Origine des travaux : | Française |
| Motif : | Révision de document | ||
| Résumé: | |||
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Le présent document définit une méthodologie pour évaluer l’aptitude de l’équipement (par exemple, machines, équipements de mesure, équipements de procédé, composants, outils) à être employé dans les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, pour ce qui concerne la propreté particulaire de l’air telle que spécifiée dans l’ISO 14644-1. La taille des particules varie de 0,1 μm à 5 μm ou plus (indiquée dans l’ISO 14644-1). Voir plus Voir moins |
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| Informations complémentaires : | |||
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