Normalisation dans le domaine de l'analyse chimique des surfaces. L'analyse chimique des surfaces comprend des techniques d'analyse où les faisceaux d'électrons, d'ions, d'atomes ou de molécules neutres, ou de photons sont incidents sur le matériau de l'échantillon et où des électrons, des ions, des atomes ou molécules neutres, ou des photons diffusés ou émis, sont détectés. Elle comprend également des techniques par balayage des surfaces à l'aide de sondes et détection des signaux liés à ces surfaces.

A l'exclusion :

• de la miscroscopie électronique à balayage qui est du domaine des travaux de l'ISO/TC 202.

Note:

Les techniques actuelles d'analyse chimique des surfaces permettent d'obtenir des données analytiques pour des régions proches d'une surface (généralement à moins de 20 nm) et des données analytiques en fonction de la profondeur peuvent être obtenues par des techniques d'analyse des surfaces sur des profondeurs plus importantes.