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Analyse chimique des surfaces - Profilage d'épaisseur par bombardement - Optimisation à l'aide de systèmes mono- ou multicouches comme matériaux de référence
NF ISO 14606
| Suivie par la Commission : | Analyse chimique des surfaces et analyse des surfaces par micro-faisceaux | Origine des travaux : | Française |
| Motif : | Nouveau document | ||
| Résumé: | |||
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La présente Norme internationale donne des lignes directrices sur l'optimisation des paramètres de profilage en profondeur par pulvérisation à l'aide de matériaux mono- et multicouches de référence appropriés afin d'atteindre une résolution en profondeur optimale en fonction des paramètres de l'instrument en spectroscopie des électrons Auger, en spectroscopie de photoélectrons par rayons X et en spectrométrie de masse des ions secondaires. La présente Norme internationale n'est pas prévue pour couvrir l'utilisation de systèmes multicouches spéciaux tels que des couches dopées delta. |
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| Informations complémentaires : | |||
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