Normalisation des méthodes en matière de spécification et d'étalonnage des instruments, de fonctionnement des instruments, d'acquisition et de traitement des données, d'analyse qualitative et d'analyse quantitative dans le cadre de l'utilisation de la spectrométrie de masse pour l'analyse chimique des surfaces; entre autres, la spectrométrie de masse des ions secondaires, la spectrométrie de masse par désorption/ionisation laser assistée par matrice, la spectrométrie de masse ambiante et la tomographie par sonde atomique.

Exclusion: Spectrométrie de masse à décharge luminescente qui relève du domaine d'application de l'ISO/TC 201/SC 8